《溅射镀膜类型》PPT课件

- 溅射镀膜类型 - 溅射镀膜的方式很多，从电极结构上可分为二极溅射、三或四极溅射和磁控溅射。直流溅射系统一般只能用于靶材为良导体的溅射；射频溅射适用于绝缘体、导体、