单晶硅磨削表面脆塑转变表征方法

单晶硅磨削表面脆塑转变表征方法单晶硅是一种重要的半导体材料，在微电子和太阳能领域有广泛的应用。而其表面的脆塑转变特性对于材料的加工和性能具有重要影响。因此，精确表征单晶硅磨削表面的脆塑转变特性对于材料