浅谈化学气相沉积新工艺

浅谈化学气相沉积新工艺化学气相沉积（Chemical Vapor Deposition，简称CVD）是一种重要的化学制备方法，广泛应用于材料科学和化学工程领域。它通过气相反应在固体表面上沉积材料，并形