基于微型球支撑的MEMS发电机的开题报告

基于微型球支撑的MEMS发电机的开题报告一、研究综述随着物联网、智能手机、平板电脑等智能终端设备的广泛应用，对小型化、高效化、低功耗的微型发电机的需求越来越迫切。微机电系统（MEMS）技术是实现微型发