MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究的任务书

MEMS电容式湿度传感器后处理工艺研究的任务书任务书1. 研究背景及意义：湿度传感器是一种广泛应用于气象监测、工业生产和室内环境控制等领域的重要传感器。MEMS（Microelectromechani