微振平台中激振器的设计建模与仿真研究的开题报告

微振平台中激振器的设计建模与仿真研究的开题报告一、选题背景微振平台已经成为微机电系统（MEMS）应用领域的重要组成部分。微振平台具有结构简单、可靠性高、易制造等特点，在传感、控制、以及生物医学等领域都