合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究

合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究合金靶材择优溅射的SRIM模拟研究摘要：溅射技术被广泛应用于材料制备和薄膜涂覆等领域。合金靶材的选择对溅射工艺和薄膜性能具有关键影响。本文利用SRIM模拟软件,对不同