基于薄壁微囊沉积法制备无缺陷薄膜的研究

基于薄壁微囊沉积法制备无缺陷薄膜的研究基于薄壁微囊沉积法制备无缺陷薄膜的研究摘要：薄膜在现代科学技术中具有广泛的应用，然而，制备高质量无缺陷的薄膜仍然面临挑战。本文基于薄壁微囊沉积法制备无缺陷薄膜进行