磁控溅射法制备ZnO薄膜与Al掺杂ZnO(AZO)薄膜及其性能研究

磁控溅射法制备ZnO薄膜与Al掺杂ZnO(AZO)薄膜及其性能研究磁控溅射法制备ZnO薄膜与Al掺杂ZnO(AZO)薄膜及其性能研究摘要：ZnO薄膜以其优异的光电性能，在光电器件、太阳能电池、传感器等