表面工程技术5薄膜的生长和性能

§5 薄膜的生长和性能§5.1 薄膜的生长薄膜的生长过程一般分为成膜粒子的凝结过程、核的形成与长大过程、岛的形成与合并生长过程。一、凝结过程包括吸附、表面扩散和凝结等过程。凝结过程是簿膜生长的第一阶段