洁净区压差监测规程

目的：建立洁净区压差监测的操作规程。通过实施本规程，使洁净区各房间压差控制符合10万级净化车间对压差的要求，确保洁净区压差处于良好受控状态，最终保证洁净区不受外来环境污染或洁净区之间的交叉污染。范围：