集成电路制造技术-原理与工艺习题答案（第2单元）

第二单元习题解答. Si02膜网络结构特点是什么？氧和杂质在SiOz网络结构中的作用和用途是什么？对S 02膜性能有哪些影响？二氧化硅的基本结构单元为Si-0四面体网络状结构，四面体中心为硅原子，四个