真空镀膜基础知识

真空及蒔膜基础麦田八乌鸦.些基本概念•我们生产的为非晶硅薄膜太阳能电池，了解PECVD设备及工艺需要对真空镀膜有一个 了解，并且对半导体物理及薄膜知识有一定的认识。•我们先对薄膜的概念做一个粗略的了解