动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜外延生长

动力学蒙特卡罗方法模拟薄膜外延生长引言在过去几十年中，薄膜外延生长已经成为了半导体器件发展中极为重要的一个过程。它是将单晶芯片上的各种电子和光学器件分配成一个可控制的芯片过程中的关键步骤。因此，对外延