生长硅单晶薄片的新工艺

生长硅单晶薄片的新工艺生长硅单晶薄片的新工艺摘要：硅单晶薄片是现代电子器件制造过程中的重要组成部分。传统的硅单晶薄片生长工艺存在着复杂的工序和成本高的问题。本文综述了当前硅单晶薄片生长工艺，并提出了一