MEMS微结构动力学特性研究的中期报告

MEMS微结构动力学特性研究的中期报告尊敬的评委们：我们的研究课题为MEMS微结构动力学特性研究，在此向大家汇报一下中期研究成果。经过前期的文献研究和理论分析，我们对MEMS微结构的力学特性和在运动状