基于一维纳米电极的场致分子电离MEMS气体传感器应用基础研究的中期报告

基于一维纳米电极的场致分子电离MEMS气体传感器应用基础研究的中期报告摘要：本报告介绍了一维纳米电极的场致分子电离MEMS气体传感器的基础研究中期情况。研究过程中，进行了纳米加工、器件设计、制备和测试