多弧离子镀设备阴极电弧蒸发源工作稳定性的研究样本

一 引言多弧离子镀设备中阴极电弧蒸发源(靶)真空电弧放电共工作电流普通为60～ 100A或更高些， 工作电压约20V， 电弧电流集中在靶面阴极弧斑上， 斑点面积很小， 电流密度很高。在无外加磁场状况