单晶硅技术简介

简述直拉单晶硅的工艺流程,并分析其中的影响因素,谈谈如何改 进?(一)直拉法单晶硅工艺过程 •硅熔点的温度,将籽晶浸入熔体,然后以一定速度向上提拉籽晶并同时旋转引出晶体;•缩颈:生长一定长度的缩小的细

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