超精密加工光学表面误差检测与质量评估的中期报告

超精密加工光学表面误差检测与质量评估的中期报告本中期报告主要介绍了超精密加工光学表面误差检测和质量评估的研究进展。以下是具体内容：一、研究背景和意义越来越多的领域需要使用高精度的光学元件，如航空、卫星