磁控溅射技术及其应用

- 一、磁控溅射镀膜技术简介 - 1842年格洛夫（Grove）在研究电子管阴极腐蚀问题时，发现阴极材料迁移到真空管壁上来了，进而发现了阴极溅射现象。直到1877年才真正应用于研