锗硅选择性外延在应变技术中的应用

锗硅选择性外延在应变技术中的应用引言半导体外延技术是现代微电子技术的核心。它的应用已经在各个领域得到相关的发展和应用，对于提高微电子产业的产能和降低成本有着非常重要的作用。其中，在应变技术中使用的锗硅