半导体工艺化学实验报告

半导体工艺化学实验报告 　　实验名称：硅片的清洗 　　实验目的：1.熟悉清洗设备 　　2.掌握清洗流程以及清洗前预准备 　　实验设备：1.半导体兆声清洗机（SFQ-1006T） 　　2.SC-1；SC