真空等离子体实验报告

真空微波等离子体实验一、实验目的1.了解真空技术基础知识2.利用机械泵组获得真空，并使用复合真空计测量被抽容器所能达到的真空度。3.掌握多功能微波等离子体装置的使用方法，利用等离子体化学气相沉淀装置制