金属薄膜传感器中氮化硅薄膜的制备及工艺试验研究的开题报告

金属薄膜传感器中氮化硅薄膜的制备及工艺试验研究的开题报告一、选题背景和意义随着工业自动化水平的不断提高和传感技术的不断发展，传感器作为工业测量的重要手段，得到了越来越广泛的应用。金属薄膜传感器作为一种