集成电路关键可靠性挑战及分析研究

集成电路关键可靠性挑战及分析黄勇，恩云飞（1．信息产业部电子第五研究所，广东 广州 510610；2.广东工业大学材料学院，广东 广州 510090）b5E2RGbCAP摘要：本文论述了集成电路地关键