洁净区环境监测标准管理规程
1 目的 制定洁净区环境监测标准管理规程,以规范洁净室(区)的环境监测,确保洁净室(区)的洁净度达到标准。 2 范围 适用于洁净区的温湿度、压差、风速、风量、悬浮粒子、沉降菌、浮游菌的测试。 3 责任