应用于MEMS陀螺中的Σ-Δ高通级联型调制器设计

应用于MEMS陀螺中的Σ-Δ高通级联型调制器设计MEMS陀螺是一种以微机电技术为基础的高精度惯性器件，是一种能够将旋转角速度转化为电信号输出的传感器。在惯性导航、空间导航、航空航天等领域具有广泛的应用