[指南]光致抗蚀剂

[指南]光致抗蚀剂光致抗蚀剂 一. 光致抗蚀剂分类及其机理 光致抗蚀剂(简称光刻胶或抗蚀剂)是一种用于光加工工艺中对加工材料表面起临时选择[1]则性保护的涂料，是现代加工工业的重要功能材料之一。 光致