椭偏光谱法研究不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制

椭偏光谱法研究不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制椭偏光谱法研究不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制摘要：本文通过椭偏光谱法研究了不同硅烷浓度制备微晶硅薄膜的微结构和生长机制。我们使用