GaAs中碳的补偿率对红外吸收方法测定其浓度的影响

GaAs中碳的补偿率对红外吸收方法测定其浓度的影响GaAs是一种半导体材料，其导电性能主要由其晶体结构中掺杂的杂质离子的影响决定。其中，碳是一种常见的掺杂杂质，可以用来调控GaAs的电导率和电子与空穴