半导体电阻率测量实验

试验三 四探针法测量半导体电阻率、薄层电阻一. 试验目的与意义电阻率是半导体材料的重要电学参数，它能反映半导体内浅能级替位杂质的浓度。薄层 电阻是用来表征半导体掺杂浓度的一个重要工艺参数，也可用来表示