玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究

玻璃衬底沉积氮化硅薄膜性能研究 第３０卷第１１期２００９年１１月 哈尔滨工程大学学报ＪｏｕｍａｌｏｆＨａｒｂｉｎＥｎ矛ｎｅｅｒｉｎｇＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙ Ｖ０１．３０№．１ｌ