8”、1+2”集成电路厂房洁净室设计探讨

8”、1 2”集成电路厂房洁净室设计探讨中国电子工程设计院  秦学礼*☆秦学礼，男，1964年2月生，大学，高工，所长100840北京307信箱(010j 6820766l收稿日期：2004—6—20