静压导轨几何误差对运动直线度影响研究

静压导轨几何误差对运动直线度影响研究摘要：静压导轨是一种高精度、高速度、高载荷和长寿命的精密机械导轨，广泛应用于半导体生产、LCD制造和精密机床等领域。然而，静压导轨的设计和加工过程容易产生几何误差，