二氯二氢硅反歧化反应精馏模拟分析

摘 要多晶硅作为原材料，被广泛应用于半导体信息产业和光伏产业中。目前国内外存 在几种多晶硅生产工艺，而第三代改良西门子法是应用范围最广且研究最为成熟的方 法。国内多晶硅企业基本都采用改良西门子法生产多