热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析

热激励谐振型压力传感器激励电压的影响与分析热激励谐振型压力传感器是一种重要的压力测量设备，其基本原理是通过热激励驱动谐振结构，并通过谐振结构的特征频率对压力进行测量。在热激励谐振型压力传感器的工作过程