光学薄膜技术第三章--薄膜制造技术

第三章 薄膜制造技术 光学薄膜可以采纳物理汽相沉积（PVD)和化学液相沉积（CLD)两种工艺来获得。CLD工艺简洁，制造成本低，但膜层厚度不能精确限制，膜层强度差，较难获得多层膜，废水废气对环境造成