实验一半导体材料的缺陷显示及观察

实验一半导体材料的缺陷显示及观察实验目的1 •掌握半导体的缺陷显示技术、金相观察技术；2• 了解缺陷显示原理，位错的各 晶面上的腐蚀图象的几何特性；3•了解层错和位错的测试方法。一、 实验原理半导体晶