常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性

常压化学气相沉积法制备二氧化钛薄膜的沉积工艺及薄膜均匀性一、引言二氧化钛（TiO2）薄膜作为一种重要的无机材料，具有广泛的应用前景，例如在光伏、光电子、光催化、生物医学和传感器等领域。常压化学气相沉积