真空镀膜及镀膜设备讲座
- 真空技术基础 - 真空技术是制备薄膜的基础,真空蒸发,溅射镀膜和离子镀等均要求沉积薄膜的空间要有一定的真空度,总的来说,真空在薄膜制备过程中主要有两方面作用:减少蒸发或溅射粒
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