单晶炉真空系统的除尘技术

单晶炉真空系统的除尘技术摘要：本文主要阐述了单晶炉真空系统中除尘技术的重要性以及目前常用的除尘方式，包括物理除尘、化学除尘和静电除尘。将这些技术进行比较分析，着重介绍了静电除尘技术的工作原理及其在单晶