柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用

柠檬酸盐体系铜电沉积及其在微机电系统中的应用摘要：本文探讨了柠檬酸盐体系铜电沉积技术在微机电系统中的应用，并对其优势、缺陷、现有研究结果和发展前景进行了分析和总结。传统的铜电沉积技术存在的问题是需要使