磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路、新设备和新工艺

磁控溅射镀膜设备升级换代的新思路、新设备和新工艺再谈本底真空与放气率 储继国 龚建华 目前，传统产业的升级换代已经成为国家的战略决策，各级政府已出台，或者即将出台各种资助政策。在此大环境下，本网站将陆