直拉硅单晶工艺简介

- - 直拉硅单晶工艺简介检漏·目的:确认炉体漏气量当炉子的真空度达到极限值时,关闭真空管道上的主泵球阀。(目前单晶一号车间晶盛单晶炉的极限真空可达10m以下)观察真空计上的压