硅片技术标准

单晶硅片技术标准1范围1.1本要求规定了单晶硅片的分类、技术要求、包装以及检验规范等1.2本要求适用于单晶硅片的采购及其检验。2规范性引用文件ASTM F42-02 半导体材料导电率类型的测试方法AS