基于Silicon-on-Glass(SOG)技术的微机械陀螺工艺研究的任务书

基于Silicon-on-Glass(SOG)技术的微机械陀螺工艺研究的任务书任务书一、项目背景微机械陀螺是一种利用微纳米加工技术制造的微型惯性元件。由于具有体积小、重量轻、功耗低、工作稳定等优点，微