冷氢化技术综述

冷氢化技术综述采用多晶硅工厂的副产物四氯化硅（STC）作原料，将其转化为 三氯氢硅（TCS）,然后将三氯氢硅通过歧化反应生产硅烷。80年代初，为得到低成本、高纯度的多晶硅，又进行了一系列 的研究开发。