教学课件PPT半导体制造中的化学品

- 半导体制造中的化学品 - 半导体制造在很大程度上是一种与化学有关的工艺过程。高达20%工艺步骤是清洗和晶圆表面的处理。 半导体工厂消耗大量的酸、碱、溶剂和水，为达到