基于球栅传感器的高精度位移测量技术研究的任务书

基于球栅传感器的高精度位移测量技术研究的任务书任务书一、课题背景球栅传感器是一种非常常用的高精度位移测量技术，可以精确地测量微小的位移变化。球栅传感器的结构简单，可以适用于多种场合和环境。球栅传感器除